研究还发现，结合三氟化磷等特定化学材料可以进一步改进蚀刻工艺。然而，需要注意到的是，在某些情况下，一些副产品可能会影响蚀刻效率。但只需加入适量的水就可以解决这个问题。例如，在低温下加入水可以让盐分解，并加速整个过程。

为了改进数据存储，研究人员正在完善三维 NAND 闪存，这种闪存将单元堆叠起来，以最大限度地利用空间。研究人员发现了一种更快、更高效的方法，可利用先进的等离子体工艺在 3D NAND 闪存中蚀刻深孔。